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光学仪器及设备
DRR系列精密双频阻尼隔振光学平台
TIMART系列通用型条纹相机
“谱王”系列Omni-Imager高光谱成像仪
zemax光机设计软件LensMechanix
可调单色光源TLS2系列
小尺寸电动滑台TBX系列(工业)
RS系列一体化导轨电动滑台(工业)
耐磨电动旋转滑台(工业)
XYR系列对位平台
SIN系列正弦机构滚珠丝杠旋转滑台(工业)
光谱检测分析仪
RTS2共聚焦拉曼光谱系统
1064nm手持拉曼光谱仪Finder Edge
OmniFluo990稳态瞬态光谱仪
稳态瞬态光谱仪OmniFluo960
三维荧光光谱仪SmartFluo-Pro
FI-Lite系列液体测试专用便携拉曼光谱仪
便携式光纤探头拉曼光谱仪FI-FO
傅里叶红外变换光谱仪FOLI 20-Z
SmartFluo系列稳态荧光光谱仪
新一代FinderInsight小型拉曼光谱仪
其他
微纳器件光谱响应度测试系统
光电化学电池测量系统
Sirius系列太阳模拟器
SolarIV系列太阳能电池伏安特性测试系统
太阳光模拟器
太阳光模拟器光谱验证谱仪
太阳能电池检测/测试
太阳能电池I-V特性测量系统
测量/计量仪器
3D形貌测试仪鹰眼系列
DCS300PA数据采集器(带前置放大器)
相关仪表
高速型光学斩波器
模拟双相型锁相放大器
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产品系列
随着半导体技术的电子技术工艺的发展,电子产品都往小型化,轻薄化发展。iWatch的一经推出,穿戴电子产品成为了一个新的电子设备应用潮流。随着电子产品的小型化,器件体积越做越小,空间就紧凑起来,这对器件加工尺寸及工艺的容差要求就越来越高。如何管控器件的尺寸及加工工艺对检测手段提出了新的挑战。原来很多制程工序只要管控2D的尺寸,现在需要管控3D的尺寸,而且精度要求都在微米级别,这就需要一个高速、高精度的测量手段来管控生产品质。
卓立汉光的3D形貌测试仪应运而生,这款仪器采用非接触式线光谱共焦快速扫描技术,能够高精度还原产品的3D结构,对肉眼不可见的结构缺陷都能准确检测。因为具有较快的扫描速度,微米级别的精度和超强的稳定性,一经推出立马成为精密生产商的新宠。在精密铸件、精密点胶、3D玻璃,半导体缺陷检测和多层光学薄膜厚度检测,就是这款产品的主要应用领域。
卓立汉光长期专注于光谱技术的应用研发,3D形貌测试仪就是常年实践积累的成果(利号:CN207556477U)。该项技术,具有以下优点:
技术 | 线性共焦光谱技术 | 点测技术 | 激光扫描 | 3D相机 |
速度 | 1000 line/s | 1000 point/s | 1000 line/s | 多角度拍照快 |
扫描宽度 | 6.5mm/20mm | 点 | 可选 | 大 |
分辨率 | 1um | 1um | 30um | 100um |
界面层数 | 多层 | 多层 | 表面 | 表面 |
建模 | 否 | 否 | 否 | 是 |
数据量 | 大 | 大 | 少 | 少 |
鹰眼系列3D形貌测试仪主要特点有:
1、非接触性测量;
2、线扫描,高效率;
3、微米级精度;
4、满足透明面及高对比度表面测试;
5、支持二次开发;
鹰眼系列3D形貌测试仪主要应用
1、精密部件3D尺寸及段差测试;
2、精密点胶胶线截面、胶线宽度、胶线高度测试;
3、3D玻璃缺陷检测;
4、半导体表面缺陷测试;
5、多层薄膜厚度测试;
3D形貌测试仪产品型号及规格
HawkEye-1300 | HawkEye-5000 | |
方式 | 共焦光谱 | 共焦光谱 |
精度 | 1um | 8um |
重复性 | ±0.3um | ±4um |
线扫宽度 | 6.5mm | 20mm |
Z轴量程范围 | 1.3mm | 5mm |
扫描速度 | 300line/s(Max:1000line/s) | 300line/s(max:1000line/s) |
重量 | 5Kg | 8Kg |
尺寸 | 460X300X140mm | 460X300X140mm |